반도체 제조 핵심장비 ‘ALD’ 기술 빼돌려
피해 회사들 개발 비용 736억 원 달해
검찰 “장비 제작 중 적발…범행 차단”
첨단 반도체 기술을 중국으로 빼돌린 혐의를 받는 전 삼성전자 부장 김 씨 등과 이들이 설립한 중국기업 ‘신카이’가 재판에 넘겨졌다.
서울중앙지검 정보기술범죄수사부(이춘 부장검사)는 25일 산업기술의 유출 방지 및 보호에 관한 법률 위반 등 혐의로 김 씨 등 3명을 구속 기소하고, 2명을 불구속 기소했다. 법인 신카이도 재판에 넘겨졌다.
중국 자본의 투자를 받아 신카이를 설립한 김 씨는 2022년 2월부터 9월까지 반도체 증착장비 설계 기술을 유출한 혐의를 받는다.
김 씨는 또 반도체 기술자 3명에게 급여와 주식 배분을 보장하겠다며 신카이로 이직하게 했다. 이직한 이들은 지난해 3월부터 6월까지 빼돌린 기술로 반도체 제조공정의 핵심 장비인 반도체 증착장비 제작에 착수했다.
검찰은 이들이 빼돌린 기술이 반도체 D램 제조의 핵심 장비인 ALD(원자층증착) 장비 관련 기술이라고 판단했다. ALD 기술 개발을 위해 피해 회사들이 들인 비용만 736억 원에 달하는 것으로 알려졌다.
지난해 5월 수사에 착수한 검찰은 7월 피고인들의 주거지와 협력회사 사무실 등을 압수수색했다.
검찰은 “장비 제작 도중 검찰에 적발돼 개발이 중단됨으로써 중요 기술 유출 범행이 무위로 돌아갔다”며 “유출에 가담한 신카이의 중국인 대표 등을 피의자로 입건해 입국 시 즉시 수사할 수 있도록 했다. 신카이 법인도 기소해 추가 범행을 차단했다”고 설명했다.
검찰은 “반도체 증착장비 기술이 중국에 유출돼 동일·유사 품질의 반도체 제조공정 장비가 대량 생산될 경우, 국내 반도체 산업에 회복 불가능한 손해가 발생할 수 있었다”며 “적시에 국내 협력업체에서 제작 중이던 증착장비 모듈을 압수해 피해회사의 설계정보를 이용해 제작한 장비가 중국에서 유통되는 것을 차단했다”고 밝혔다.
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